碳素探針式電阻測(cè)試儀參數(shù)：

1. 材料尺寸(由選配測(cè)試臺(tái)和測(cè)試方式?jīng)Q定)

直 徑：圓測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式 Φ15～130mm，手持方式不限

方測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式 180mm×180mm，手持方式不限. 長(zhǎng)(高)度： 測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式 H≤100mm, 手持方式不限.

BEST-300C 測(cè)試儀能夠測(cè)量半導(dǎo)體材料體電阻率ρ、方塊電阻（薄片電阻率）R 口

以及體電阻 R，測(cè)量時(shí)需調(diào)整相應(yīng)的修正系數(shù)和選擇相應(yīng)的功能。

本產(chǎn)品不但提供了電阻率ρ、方塊電阻 R 口以及體電阻 R 測(cè)試的基本修正系數(shù)設(shè)定， 還提供了產(chǎn)品厚度 G、外形和測(cè)試位置的修正系數(shù) D 設(shè)定，極大的提高了測(cè)試精度。測(cè)試類(lèi)別的快捷選擇方式，方便了用戶同時(shí)測(cè)試多個(gè)參數(shù)，提高測(cè)試效率。整機(jī)測(cè)量最大相對(duì)誤差：≤±3%；整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度：≤±3%四位半顯示讀數(shù)；八量程自動(dòng)或手動(dòng)測(cè)試；范圍寬： 電阻：10-4Ω～105Ω ；方阻：10-4Ω/□～105Ω/□；正反向電流源修正測(cè)量電阻誤差恒流源：電流量程分為： 1uA、10uA、100uA、1mA、10mA 、100mA六檔；儀器配有恒流源開(kāi)關(guān)可有效保護(hù)被測(cè)件，即先讓探針頭壓觸在被測(cè)材料上，后開(kāi)恒流源開(kāi)關(guān)，避免接觸瞬間打火。為了提高工作效率，如探針帶電壓觸單晶對(duì)材料及測(cè)量并無(wú)影響時(shí)，恒流源開(kāi)關(guān)可一直處于開(kāi)的狀態(tài)?？膳浜隙喾N探頭進(jìn)行測(cè)試；也可配合多種測(cè)試臺(tái)進(jìn)行測(cè)試。校正功能：可手動(dòng)或自動(dòng)選擇測(cè)試量程 全量程自動(dòng)清零。厚度可預(yù)設(shè)，自動(dòng)修正樣品的電阻率,無(wú)需查表即可計(jì)算出電阻率自動(dòng)進(jìn)行電流換向,并進(jìn)行正反向電流下的電阻率(或方塊電阻)測(cè)量,顯示平均值.測(cè)薄片時(shí),可自動(dòng)進(jìn)行厚度修正。雙電測(cè)測(cè)試模式，測(cè)量精度高、穩(wěn)定性好.具備溫度補(bǔ)償功能，修正被測(cè)材料溫漂帶來(lái)的測(cè)試結(jié)果偏差。比較器判斷燈直接顯示，勿需查看屏幕，作業(yè)效率得以提高。

3檔分選功能：超上限，合格，超下限，可對(duì)被測(cè)件進(jìn)行HI/LOW判斷，可直接在LCD使用標(biāo)志顯示；也可通過(guò)USB接口、RS232接口輸出更為詳細(xì)的分選結(jié)果。測(cè)試模式：可連接電腦測(cè)試、也可不連接電腦單機(jī)測(cè)試。接口，Handler接口、RS232接口、USB HOST、USB DEVICE。實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程控制。U盤(pán)可記錄測(cè)試數(shù)據(jù)軟件功能（選配）：軟件可記錄、保存、各點(diǎn)的測(cè)試數(shù)據(jù)；可供用戶對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分

在設(shè)定模式下（設(shè)定完畢，保存好數(shù)據(jù)后），選擇測(cè)量類(lèi)別（電阻率ρ、方塊電阻

（薄片電阻率）R 口或體電阻 R 中三選一，切換儀器到“測(cè)量"模式，窗口左側(cè)“測(cè)量" 模式燈亮。電阻測(cè)量,注意良好接觸，電壓測(cè)試端在內(nèi)側(cè)；半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試，將探針與樣品良好接觸，注意壓力要適中；由數(shù)字顯示窗直接讀出測(cè)量值。

注意！測(cè)量狀態(tài)中，電流量程默認(rèn)為自動(dòng)方式，也可調(diào)整為手動(dòng)方式，手動(dòng)方式下， 電流量程適合的，儀器會(huì)穩(wěn)定顯示數(shù)據(jù)，電流量程不適合的會(huì)給出超量程或欠量程閃爍提示，對(duì)于超量程，說(shuō)明電流過(guò)大，要調(diào)到較小電流檔；對(duì)于欠量程，說(shuō)明電流過(guò)小， 要調(diào)到較大電流檔。

碳素探針式電阻測(cè)試儀注意事項(xiàng):

1使用前務(wù)必詳閱此說(shuō)明書(shū)，并遵照指示步驟，依次操作。

2請(qǐng)勿使用非原廠提供之附件，以免發(fā)生危險(xiǎn)。

3進(jìn)行測(cè)試時(shí)，本儀器測(cè)量端高壓輸出端上有直流高壓輸出，嚴(yán)禁人體接觸，以免觸電。

4為避免測(cè)試棒本身絕絳泄漏造成誤差，接儀器測(cè)量端輸入的測(cè)試棒應(yīng)盡可能懸空，不與外界物體相碰。

5當(dāng)被測(cè)物絕攥電阻值高，且測(cè)量出現(xiàn)指針不穩(wěn)現(xiàn)兔時(shí)，可將儀器測(cè)量線屏蔽端夾子接上。例如:對(duì)電繞測(cè)纜芯與纜殼的絕絳時(shí)，除將被測(cè)物兩端分別接于輸入端與高壓

端，再將電纜殼，芯之間的內(nèi)層絕絳物接儀器“G"，以消除因表面漏電而引起的測(cè)量誤差。也可用加屏蔽盒的方法，即將被測(cè)物置于金屋屏蔽盒內(nèi)，接上測(cè)量線。